Sputtering Coating នៅពេលដែលភាគល្អិតថាមពលខ្ពស់ទម្លាក់លើផ្ទៃរឹង ភាគល្អិតនៅលើផ្ទៃរឹងអាចទទួលបានថាមពល ហើយគេចចេញពីផ្ទៃដែលត្រូវដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។បាតុភូត Sputtering បានចាប់ផ្តើមប្រើក្នុងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតនៅឆ្នាំ 1870 ហើយត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាបណ្តើរៗនៅក្នុងផលិតកម្មឧស្សាហកម្មបន្ទាប់ពីឆ្នាំ 1930 ដោយសារតែការកើនឡើងនៃអត្រានៃការដាក់ប្រាក់។ឧបករណ៍ស្ប៉ាពីរបង្គោលដែលប្រើជាទូទៅត្រូវបានបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 3 [ដ្យាក្រាមគំនូសតាងនៃការស្រោបបង្គោលភ្លើងពីរជាន់] ។ជាធម្មតាសម្ភារៈដែលត្រូវដាក់ត្រូវបានដាក់ចូលទៅក្នុងចាន - គោលដៅមួយដែលត្រូវបានជួសជុលនៅលើ cathode ។ស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានដាក់នៅលើ anode ប្រឈមមុខនឹងផ្ទៃគោលដៅដែលមានចម្ងាយពីរបីសង់ទីម៉ែត្រពីគោលដៅ។បន្ទាប់ពីប្រព័ន្ធត្រូវបានបូមទៅកន្លែងទំនេរខ្ពស់ វាត្រូវបានបំពេញដោយឧស្ម័ន 10 ~ 1 Pa (ជាធម្មតា argon) ហើយវ៉ុលជាច្រើនពាន់វ៉ុលត្រូវបានអនុវត្តរវាង cathode និង anode ហើយការបញ្ចេញពន្លឺមួយត្រូវបានបង្កើតឡើងរវាងអេឡិចត្រូតទាំងពីរ។ .អ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានដែលបង្កើតឡើងដោយការបញ្ចេញទឹកនោះហោះទៅកាន់ cathode ដែលស្ថិតនៅក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអគ្គិសនី ហើយបុកជាមួយអាតូមនៅលើផ្ទៃគោលដៅ។អាតូមគោលដៅដែលគេចចេញពីផ្ទៃគោលដៅដោយសារតែការប៉ះទង្គិចត្រូវបានគេហៅថាអាតូម sputtering ហើយថាមពលរបស់វាស្ថិតនៅក្នុងចន្លោះពី 1 ដល់រាប់សិបនៃវ៉ុលអេឡិចត្រុង។អាតូមដែលបែកខ្ញែកត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត។មិនដូចថ្នាំកូតរំហួតទេ ថ្នាំកូត sputter មិនត្រូវបានកំណត់ដោយចំណុចរលាយនៃវត្ថុធាតុហ្វីលទេ ហើយអាចបញ្ចេញសារធាតុ refractory ដូចជា W, Ta, C, Mo, WC, TiC ជាដើម។ វិធីសាស្រ្ត នោះគឺ ឧស្ម័នប្រតិកម្ម (O, N, HS, CH ។ល។) គឺ
បន្ថែមទៅក្នុងឧស្ម័ន Ar ហើយឧស្ម័នប្រតិកម្ម និងអ៊ីយ៉ុងរបស់វាមានប្រតិកម្មជាមួយអាតូមគោលដៅ ឬអាតូមដែលបែកខ្ញែកដើម្បីបង្កើតជាសមាសធាតុ (ដូចជាអុកស៊ីដ អាសូត សមាសធាតុ។ល។) ហើយដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។វិធីសាស្ត្រផ្លុំប្រេកង់ខ្ពស់អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់។ស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានម៉ោននៅលើអេឡិចត្រូតដីហើយគោលដៅអ៊ីសូឡង់ត្រូវបានម៉ោននៅលើអេឡិចត្រូតផ្ទុយ។ចុងម្ខាងនៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្រេកង់ខ្ពស់ត្រូវបានភ្ជាប់មកជាមួយ ហើយចុងម្ខាងត្រូវបានភ្ជាប់ទៅអេឡិចត្រូតដែលបំពាក់ដោយគោលដៅអ៊ីសូឡង់តាមរយៈបណ្តាញដែលផ្គូផ្គង និងឧបករណ៍បំប្លែង DC ។បន្ទាប់ពីបើកការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្រេកង់ខ្ពស់វ៉ុលប្រេកង់ខ្ពស់បន្តផ្លាស់ប្តូរបន្ទាត់រាងប៉ូល។អេឡិចត្រុង និងអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមាននៅក្នុងប្លាស្មាបានវាយប្រហារគោលដៅអ៊ីសូឡង់ក្នុងអំឡុងពេលពាក់កណ្តាលវដ្តវិជ្ជមាន និងពាក់កណ្តាលវដ្តអវិជ្ជមាននៃវ៉ុលរៀងគ្នា។ចាប់តាំងពីការចល័តអេឡិចត្រុងគឺខ្ពស់ជាងអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានផ្ទៃនៃគោលដៅអ៊ីសូឡង់ត្រូវបានចោទប្រកាន់អវិជ្ជមាន។នៅពេលដែលលំនឹងថាមវន្តត្រូវបានឈានដល់ គោលដៅគឺនៅសក្តានុពលលំអៀងអវិជ្ជមាន ដូច្នេះ អ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានដែលផ្ទុះឡើងលើគោលដៅនៅតែបន្ត។ការប្រើប្រាស់ម៉ាញ៉េស្យូមស្ពែមឺរអាចបង្កើនអត្រានៃការបំប្លែងសារពើភ័ណ្ឌដោយជិតលំដាប់នៃរ៉ិចទ័រធៀបនឹងការខ្ទាស់ដែលមិនមែនជាមេដែក។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី៣១ ខែកក្កដា ឆ្នាំ២០២១