បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតបូមធូលី

បច្ចេកវិជ្ជាថ្នាំកូតសុញ្ញកាស ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជាបច្ចេកវិទ្យាហ្វីលស្តើង ត្រូវបានប្រើក្នុងឧស្សាហកម្មជាច្រើនប្រភេទ ដូចជាក្រដាសវេចខ្ចប់សម្រាប់រក្សាទុកស្រស់ក្នុងឧស្សាហកម្មម្ហូបអាហារ ខ្សែភាពយន្តការពារប្រឆាំងនឹងការ corrosion ការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ ថ្នាំកូតតុបតែងសម្រាប់សម្ភារៈបន្ទប់ទឹក និងគ្រឿងអលង្ការ។ , ដើម្បីដាក់ឈ្មោះមួយចំនួន។

ទីផ្សារឧបករណ៍សម្រាប់ស្រោបដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលីត្រូវបានបែងចែកទៅតាមមូលដ្ឋាននៃកម្មវិធី បច្ចេកវិទ្យា និងតំបន់។នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃបច្ចេកវិទ្យា ទីផ្សារត្រូវបានបែងចែកបន្ថែមទៀតទៅជាការបំភាយចំហាយគីមី (CVD), ការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ (មិនរាប់បញ្ចូលការបែកខ្ញែក) និងការបញ្ចេញទឹករំអិល។

ផ្នែកនៃការបំភាយចំហាយរាងកាយត្រូវបានបែងចែកទៅជាហួតនិងផ្សេងទៀត (ឡាស៊ែរជីពចរ, ឡាស៊ែរធ្នូ។ ល។ ) ។ផ្នែករំហួតត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងបង្ហាញពីការពង្រីកយ៉ាងសន្ធឹកសន្ធាប់លើការកំណត់ពេលវេលានៃការស្រាវជ្រាវ ដោយសារតែកំណើនដ៏ខ្លាំងក្លានៃឧស្សាហកម្ម semiconductor ។

នៅក្រោម sputtering ទីផ្សារត្រូវបានបែងចែកទៅជា reactive sputtering, magnetron sputtering (RF magnetron sputtering, etc. (pulsed DC, HIPIMS, DC ។

វិស័យនៃការ sputtering magnetron ត្រូវបានពង្រីកជាលំដាប់ ដែលជំរុញដោយនិន្នាការអំណោយផលទាក់ទងនឹងឧស្សាហកម្មផលិត និងអេឡិចត្រូនិច។

នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃកម្មវិធី ទីផ្សារត្រូវបានបែងចែកទៅជាកម្មវិធី CVD កម្មវិធី PVD និងកម្មវិធី sputtering ។នៅក្រោមកម្មវិធី PVD ទីផ្សារត្រូវបានបែងចែកបន្ថែមទៀតទៅជាឧបករណ៍វេជ្ជសាស្ត្រ មីក្រូអេឡិចត្រូនិច ឧបករណ៍កាត់ កន្លែងផ្ទុក ថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងផ្សេងៗទៀត។ផ្នែកផ្ទុកត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងមើលឃើញពីកំណើនដែលរកកម្រៃបានក្នុងអំឡុងពេលនៃការវិភាគ ដោយសារតែការកើនឡើងនៃតម្រូវការសម្រាប់ការផ្ទុក និងការកើនឡើងនៃប្រជាប្រិយភាពនៃ SSDs ។

កម្មវិធី PVD ផ្សេងទៀតរួមមានសមាសធាតុអវកាស គ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត ការវេចខ្ចប់ និងច្រើនទៀត។

នៅក្រោមកម្មវិធី sputtering ទីផ្សារត្រូវបានបែងចែកទៅជាខ្សែភាពយន្តម៉ាញេទិក ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័ន ការលោហធាតុនៃសៀគ្វីមីក្រូអេឡិចត្រូនិច និងឧបករណ៍ផ្ទុកបន្ទះឈីប ខ្សែភាពយន្តធន់នឹងការ corrosion ខ្សែភាពយន្តធន់ទ្រាំ ឧបករណ៍ផ្ទុកអុបទិក។ល។

នៅក្រោមកម្មវិធី CVD ទីផ្សារត្រូវបានបែងចែកទៅជាវត្ថុធាតុ polymer សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា (IC) និងឧបករណ៍ photovoltaic និងក្របខ័ណ្ឌសរីរាង្គលោហៈ (ការផ្ទុកឧស្ម័ន ការស្រូបយក ការផ្ទុក និងការបន្សុត ការចាប់សញ្ញាឧស្ម័ន និង low-k dielectrics កាតាលីករ។ ល។ ) និងផ្សេងៗទៀត។ .