WVCP6000 ចំហាយទឹក Cryopump ប្រព័ន្ធទូរទឹកកក Cryogenic

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

Defrost លឿន
អន្ទាក់ត្រជាក់ត្រជាក់ដល់ -135 ℃
កាត់បន្ថយពេលវេលាបូមចុះពី 25% ទៅ 50%
ការប្រើប្រាស់ថាមពលទាប
ផលប៉ះពាល់បរិស្ថានតិចតួចបំផុត ដោយគ្មាន CFC និង HCFCs


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

ការ​ពិពណ៌នា​ពី​ផលិតផល

Guangzhou Xieyi Automation Technology Co., Ltd. ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងក្នុងឆ្នាំ 2011 គឺជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់តែមួយគត់នៅភាគខាងត្បូងប្រទេសចិន ដែលចូលរួមក្នុងការអភិវឌ្ឍន៍ការស្រាវជ្រាវ ការផលិត ការប្រឹក្សាបច្ចេកទេស និងសេវាកម្មសម្រាប់ម៉ាស៊ីនបូមចំហាយទឹកដែលមានសីតុណ្ហភាពទាបបំផុត និងផ្សេងៗទៀត។ ឧបករណ៍សីតុណ្ហភាពទាបបំផុត។

XIEYI WVCP Cryochillers គឺជាប្រព័ន្ធទូរទឹកកកបិទជិតដែលផ្តល់ភាពត្រជាក់ 550 វ៉ាត់ ~ 6,000 វ៉ាត់។សារធាតុ cryochillers ទាំងនេះអាចត្រូវបានគេប្រើប្រាស់ដើម្បីចាប់យកចំហាយទឹក និងសារធាតុ condensable ផ្សេងទៀតដោយការបង្កកពួកវាទៅលើផ្ទៃត្រជាក់ដូចជា Meissner coil (cryocoil)។WVCP cryochillers ត្រូវបានគេប្រើផងដែរដើម្បីធ្វើឱ្យវត្ថុត្រជាក់ដូចជា chucks electrostatic ដែលត្រូវបានប្រើនៅក្នុងដំណើរការ semiconductor wafer ។

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស

គំរូ WVCP6000-SH WVCP6000-DH
សមត្ថភាពត្រជាក់អតិបរមា (W) ៦០០០ ៦០០០
ទ្រឹស្តីល្បឿនបូមអតិបរមានៃអន្ទាក់ត្រជាក់ tubular (L/S) 588000 588000
ទ្រឹស្តីល្បឿនអតិបរមានៃអន្ទាក់ត្រជាក់ចាន (L/S) ៨៨២០០០ ៨៨២០០០
ម៉ាស៊ីនបូមធូលីចុងក្រោយ (mbar) ២*១០-៨ ២*១០-៨
ពេលវេលានៃការសាយសត្វនៃតំបន់អន្ទាក់ត្រជាក់អតិបរមា (នាទី) <5 <5
ជួរដែលអាចលៃតម្រូវបាននៃសីតុណ្ហភាព defrost (℃) -២០-៣០ -២០-៣០
របៀបគ្រប់គ្រងសម្ពាធ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឌីជីថល + កុងតាក់មេកានិច ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឌីជីថល + កុងតាក់មេកានិច
មុខងារសំពាធតុល្យភាពឡើងវិញរហ័ស (QRBP) បាទ បាទ
មុខងារការពារការទប់ស្កាត់ប្រេង (OBP) បាទ បាទ
ការបញ្ជាពីចម្ងាយ 4G បាទ បាទ
លក្ខណៈសម្បត្តិប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយត្រជាក់ គាំទ្របរិស្ថាន គាំទ្របរិស្ថាន
ផ្ទៃអតិបរមានៃអន្ទាក់ត្រជាក់បំពង់(㎡) 4 4
ផ្ទៃអតិបរមានៃអន្ទាក់ត្រជាក់ចាន (㎡) 6 6
លក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃអន្ទាក់ត្រជាក់តែមួយ(㎡) φ16mm*80m /
លក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃអន្ទាក់ត្រជាក់ទ្វេ (㎡) / 2*φ16mm*40m
ចំណុចប្រទាក់ឧស្ម័ន 12.7 ប្រសព្វផ្សារដែកស្ពាន់ (ស្តង់ដារ) 12.7 ប្រសព្វផ្សារដែកស្ពាន់ (ស្តង់ដារ)
ParkerCPI/VCR (ស្រេចចិត្ត) ParkerCPI/VCR (ស្រេចចិត្ត)
លំហូរទឹកត្រជាក់ (L / នាទីនៅ 24 ℃) 48 48
សីតុណ្ហភាពសំឡេងរោទិ៍ទឹកត្រជាក់ (℃) 38 38
ប៉មត្រជាក់ បាទ បាទ
ឧបករណ៍ភ្ជាប់ទឹកត្រជាក់ (L/S) G1” G1”
ថាមពលផ្ទុកអតិបរមា (kW) ២៥.៣ ២៥.៣
ថាមពលម៉ាស៊ីនបង្ហាប់ (HP) 20 20
ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល (50HZ) 380-400V AC 3P(H) 380-400V AC 3P(H)
200-230V AC 3P(L) 200-230V AC 3P(L)
វិមាត្រ (MM) 935(L)*873(D)*1809(H) 1235(L)*873(D)*1809(H)
ទំងន់ (KG) ៦៥៥ ៦៥៥

sretfg


  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង